半導體行業液氮真空管特點：
液氮損耗率極低
管道內外均采用不銹鋼材料，強度好
公母接頭連接方式，漏熱小
夾層材料與吸附劑配合使用，夾層真空壽命長
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半導體液氮真空管道 |
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管道 規格（mm） |
通徑 |
DN15 |
DN20 |
DN25 |
DN32 |
DN40 |
DN50 |
DN65 |
DN80 |
DN100 |
DN125 |
DN150 |
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內管 |
Φ20*2 |
Φ25*2 |
Φ32*3 |
Φ38*3 |
Φ45*3 |
Φ57*3 |
Φ76 |
Φ89 |
Φ108 |
Φ133 |
Φ159 |
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外管 |
Φ76*2 |
Φ89*2 |
Φ89*2 |
Φ108*2 |
Φ108*2 |
Φ114*3 |
Φ133 |
Φ159 |
Φ168 |
Φ219 |
Φ245 |
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工作壓力 |
根據用戶需要設計 |
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設計溫度 |
-196℃/-270℃ |
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工作介質 |
LO2、LN2 、LAr 、LH2 、LNG |
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內、外管材質 |
06Cr19Ni10、SUS304 (可根據用戶要求選擇內管材質） |
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結構形式 |
高真空多層絕熱 |
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夾層壓力 |
＜0.004Pa |
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管道真空漏率 |
＜2*10-10Pa L/S |
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